業務紹介 〜半導体製造装置開発〜

Q:プロジェクトについて教えてください。



"半導体"という、最近ではほとんどの電子機器に入っている部品の製造装置を開発しています。 電子機器というと 物々しいかもしれませんが、携帯やパソコン、洗濯機やゲーム機など生活のあらゆるシーンで使われている物ですね。
具体的には、以下の4つのチームに別れて開発をしています。 (1)"エッチング"と呼ばれる技術を用い、プラズマを利用して半導体を生成するソフトを開発するチーム  (2)エッチングするモジュールまでウェーハを搬送するソフトを開発するチーム  (3)搬送からエッチングまでのさまざまな動作をトレースするソフトを開発するチーム  (4)ソフト開発の最終段階においてソフトに問題が無いかどうか判定するチーム  です。

Q:チームはどんな雰囲気ですか?



とにかく元気で明るく楽しい、13人のチームですね。 仕事もプライベートも関係なく、付き合える仲間達です。 4つのチームに別れて業務を進めていますが、チームワークを重視して頑張っています。

Q:どんなところを楽しい、やりがいがあると思いますか?



何も無いところから、製品を作り出すところでしょうか。 また、大掛かりな装置になります(1台1億円を超えることも!)ので、構想から製品出荷まで3年以上かかることもあります。 何年もかかって作った製品が、実際に思い通りに動いた時の感動は、何物にも変えがたいですね。
また、俗に言うソフト屋さんだけではなく、ハード屋さんという他分野の方々と交流もありますので、 畑が違う分野のことも学ぶことができて、面白いですね。

Q:大変なところ、苦労話などあれば教えてください。



装置自体も高価ですが、扱う部品1つ1つも高価ですので、装置が思い通りに動かず、部品を壊してしまうことは避けなければいけません。
もちろん、実際に装置を動かす前に、問題が無いかをシミュレータを使いチェックするのですが、シミュレータでは発見できない事もあり、動かす度に祈りながら見守ることになります。 ここで問題が無いかどうかチェックする部門のメンバーの力が非常に頼りになります。

Q:今後の展望について教えてください。



エッチングの精度をより高くすること、スループット(製造する速度)をより高めること、この二つを、高い次元で両立させることが絶対的、普遍的な目標です。
目指すレベルが高ければ高いほど、要求される内容もよりシビアになりますが、高精度、高スループットの製品を世に送り出し、世界シェア第一位を目指します!



回答者:甲府セミコンダクタ・エクィップメントSc. 平澤